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数控立床使用光学平晶测量小平面，测量时将平晶贴于被测表面上，若被测表面内凹或外凸，就会出现环形干与带，根据环形干与带数与光波的半波长的乘积来标明平面度过失。假如干与条纹不关闭，可使光学平晶与被测表面间稍微倾斜一个角度，使两者之间构成一空气楔。这种按干与带的弯曲度与相邻两干与带之间的比值，再乘以半波长即得过失值。
不过，按此法判定的过失实践上是以直线度过失代替了平面度过失。以前用平晶只能测小平面。这些年有了平晶干与仪，使用这种仪器也可以运用平晶干与法来测量较大的平面。
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